【洁诚百科】硅烷气体系统的设计及应用规范
硅 烷是一种 无色气体,可溶于水,易燃,有爆炸风险,危险性高。它是重要的特种气体资源,可用于制造单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属硅化物...
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