【洁诚百科】实验室高纯气体的种类
2024年04月01日
高纯气体是工业和科研中不可或缺的重要材料，尤其在半导体制造等高科技领域发挥着至关重要的作用。然而，它们也可能带来一定的安全风险。
高纯气体可能对人体造成危害，特别是在泄漏时，由于它们往往是无色无味的，人们难以及时察觉，这就需要特别注意环境中气味和呼吸的变化，一旦发现异常，应迅速脱离现场。高纯气体还可能参与危险的化学反应，因此在使用这些气体时，必须严格监控气体的纯度和使用环境，避免发生意外的混合或反应。
在半导体制造过程中，即使是微小的污染颗粒也可能导致产品良率下降和废品增加，严重影响生产效率和成本控制。因此，涉及气体应用的生产步骤需要精细化管理和精确控制，以确保制造出高精度、高性能的产品。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体，有机高纯气体。
1、烷烃类：
甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、环丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、环氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等；
2、烯烃类：
乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、异丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、顺-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；
3、炔烃类：
乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；
4、其他：
二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸剂（C2H4O-CO2)等
无机高纯气体
1、空气（Air）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、氩气（Ar）、氦气（He）、氖气（Ne）、氪气（Kr）、氙气（Xe）等； 2、氨气（NH3）、氯气（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亚氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氢（HCl）、溴化氢（HBr）、硫化氢（H2S）等； 3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、 四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等。
大宗气体如氧、氮、氩以及合成气体如乙炔、二氧化碳等，都是常用的工业气体。而特种气体，包括电子气体、高纯气体和标准气体，属于高技术、高附加值产品，在半导体和微电子工业中有广泛应用。这些特种气体在纯度、组成、有害杂质含量以及产品包装贮存等方面都有极其严格的要求。
在使用高纯气体前，了解气体的物化特性、危害性和安全性能是至关重要的。不同气体有不同的特性，因此必须深入了解其相关情况，并采取适当的储存和防护措施。
总之，高纯气体在现代工业中的应用至关重要，但同时也伴随着潜在的安全风险。正确的做法是在使用这些气体时，严格遵守安全规范，确保既保障了生产效率，又维护了工作人员和环境的安全。
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