洁净室的等级划分是依据空气中的颗粒数量来分类的，通常使用美国联邦标准209E，该标准已被ISO标准（欧盟）替代，而A、B、C、D级别的划分则参照ISO标准。
在详细划分中，ISO标准的洁净室等级从ISO 1至ISO 9不等，数字越小表示洁净度越高。例如，ISO 1代表最高洁净等级，而ISO 9则为最低等级。1级、10级、100级的尘粒尺寸为0.5μm时，对应的大尘埃粒子数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。对于不同尺寸的尘粒，洁净室等级应以在特定尘粒尺寸的级数来表示，具体分为1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级、300000级。洁净室等级的定义模式为Class X (at Y μm)，其中X表示无尘室的等级，Y表示粒径，例如0.2μm或0.5μm。这种定义方式有助于确保无尘室在不同粒径下的微粒含量满足相应的等级限制。洁净室的净化级别越高，其洁净度也越高，相应的造价也会更高。数值越小的等级，表示净化级别越高，例如1级是比10级和100级更高的净化级别。
